BKM 1D IAEDFシミュレーター

計算条件

初回実行時はPyodide（約10 MB）のダウンロードに数秒かかります。計算はすべてブラウザ内で行われ、データは外部へ送信されません。

結果

自己無撞着プラズマ電位（KCL）

IEDF（イオンエネルギー分布）

符号付きIADF（イオン角度分布）

符号付きIAEDF（角度・エネルギー同時分布）

モデルについて

• シース輸送: 電子フロント運動シース（瞬時Child幅、s_e = s_max(V_sp/V_sp,max)^p）。電場はChild型 x^4/3プロファイル。
• 衝突: LXCat Phelpsデータベースのエネルギー依存電荷交換＋等方弾性散乱（Ar⁺/Ar）。
• プラズマ電位: 駆動・接地2シースのキルヒホッフ電流則をRK4で周期定常まで積分。
• 既知の限界: n_s, T_eは入力値（パワーバランス非連成）。二次電子・電子慣性・表面帯電なし。弾性散乱は重心系等方。

断面積データ: Phelps database, LXCat, A. V. Phelps, J. Appl. Phys. 76, 747 (1994).